近日，蘇創(chuàng)投·國發(fā)創(chuàng)投所投企業(yè)芯達半導體設(shè)備（蘇州）有限公司（以下簡稱：芯達半導體設(shè)備）發(fā)布兩款全國產(chǎn)化自主知識產(chǎn)權(quán)光刻膠精密定量泵，打破日美在該項技術(shù)的多年壟斷，分別為PCV500/3000系列光刻膠涂覆定量泵和前道工藝涂膠精密定量泵SPCV300系列。

      晶圓表面光刻膠涂覆工藝設(shè)備為采用光刻機轉(zhuǎn)印生產(chǎn)芯片（集成電路）的關(guān)鍵設(shè)備，其中精密光刻膠定量泵為光刻膠涂覆機的關(guān)鍵部件，目前該部件長期為日美兩國相關(guān)企業(yè)壟斷。芯達半導體設(shè)備（TDSEMI）經(jīng)過近四年努力，成功推出的兩系列產(chǎn)品打破日美兩國企業(yè)在該項技術(shù)的幾十年壟斷地位，突破又一項我國在芯片領(lǐng)域的卡脖子技術(shù)，為國產(chǎn)28納米以上涂膠顯影設(shè)備提供穩(wěn)定零部件供應(yīng)。

      新推出的PCV500/3000系列光刻膠涂覆定量泵采用氣動和電動兩種驅(qū)動模式，泵體采用PTFE柔性腔室體積線性形變定量技術(shù)，具備高潔凈度高防腐蝕及表面不沾污性，快速精準補液放液技術(shù)提高設(shè)備單位面積的生產(chǎn)效率（持續(xù)高頻供液技術(shù)），其中氣動控制重復(fù)吐出精度0.5%，電動控制重復(fù)吐出精度高達0.3%，使用壽命高達30萬次以上。

     

        新推出的SPCV300系列前道工藝涂膠精密定量泵采用電控雙極往復(fù)驅(qū)動技術(shù)，泵體采用雙PTFE柔性腔室定量技術(shù)，具備高潔凈度高防腐蝕及表面不沾污性，連續(xù)補液放液技術(shù)提高設(shè)備單位面積的生產(chǎn)效率（持續(xù)高頻供液技術(shù)）。泵系統(tǒng)集成光刻膠吐出后多段回吸技術(shù)，可有效控制吐出光阻濃度穩(wěn)定。該泵重復(fù)吐出精度高達0.15%，使用壽命高達40萬次以上。此款定量泵具有緩壓自潔功能，集成系統(tǒng)管道技術(shù)，無需額外管道布置，簡化供膠系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，提升設(shè)備穩(wěn)定性減少故障率。
     涂膠顯影設(shè)備屬于晶圓制造過程中的核心設(shè)備之一，特別是屬于黃光區(qū)核心設(shè)備之一，目前多依賴于進口，芯達是國內(nèi)為數(shù)不多的在涂膠顯影設(shè)備領(lǐng)域能夠批量出貨的企業(yè)之一。此次，核心部件的推出為公司后續(xù)更高階的涂膠顯影設(shè)備提供了保障。在中美貿(mào)易關(guān)系緊張的大背景下，芯達有望在國產(chǎn)替代的大背景下做大做強并在半導體前道領(lǐng)域獲得突破。